而其⚂🎧📢中之一,就是要保证拥有制造芯片所需的最先进的光刻机。
说起光刻机,后世人♻🍥们第一个想到的就是荷兰的阿斯麦😔公司🏝。
其实在七八十年代的♻🍥时候🈧🀱,咱们国家就已经有了国产光刻机。
国产第1台光刻机GK-3型半自动接近式光刻机诞生于1977年,而那个时候荷兰的阿斯麦连成⚛⚛立都没有成立。
光刻机是大系统高精尖技术和工程极限高度融合的结晶,被誉为集成电路产业链“皇冠上的明珠”。⚛
日本的尼♪康和佳能于20世纪60年代末开始进入光刻机领域,中国利用光刻技术制造集成电路,大致也是始于同一时期。
但是中国的光刻机产业可以用一句话来形容,那就🟌是:起了个大早,赶了个晚集。
1965年,我国第1块集成电路在北京,石家庄和上海等地相继问世,1974年9月第1次全国大规模集成电路工业会议召开,国家纪委在北京召开的“全国大规模集成电路及基础材料攻关大会战会议”上,拟定👟的目标是在1974年到1976年,突破大规模集成电路的工艺装备基础材料等方面的关键技术,司机部组织京沪电子工业会战进行大规模集成电路及材料装备研发,突破超威力钢板,光刻胶超纯净试剂,高纯度气体磁场,偏转电子束镀膜机等材料装备。
1975年12月第2次全国大规模集🀤⚜成电路会议在上海召开,⚹🖖💦1977年1月第3次全国大规模集成电路会议在贵州召开,这三次会议可以说直接导致了上世纪80年代前后,中科院系统电子部系统地方各研发单位光刻机成果的第1次大爆发。